|
|
|
 产品介绍 |
 |
主要特点：
MM60是最新型FPD检查显微镜,专为LCD行业TFT玻璃COG导电粒子检查以及6英寸及以下的集成电路硅片在线检查和实验室分析设计.具有成像清晰,工作距离长,使用便利,应用软件丰富的特点.是一款性价比非常优秀的半导体及微电子工业与科研用显微镜. 其微分干涉效果可与进口品牌相媲美.
|
|
技术参数及规格
|
型号 |
MM60 |
|
光学系统 |
无限远校正光学系统 |
|
显微镜镜体 |
照明装置 |
反射/透射光转换 |
|
内装3.3W 白光长寿命LED光源,光亮可连续调节 |
|
调焦 |
行程为:35mm |
|
同轴粗微调,微调最小刻度1微米, |
|
含三级调焦机构:微调,粗调及张力调节环.； |
|
观察筒 |
宽视野(视野数为22) |
正置式 三目镜筒 倾角30° 带Ｃ型数码接口 |
|
进口观察筒.普通视野(视野数为20) |
日本OLYMPUS原装三目观察镜筒 倾角30° 带Ｃ型数码接口 |
|
物镜转盘 |
明视场用 |
内置5孔明视场物镜转盘 |
|
载物台 |
带左(右)手同轴驱动旋转的载物台:100(x)X105(y)mm |
|
物镜 |
LWDPLAN 5X |
长工作距离平场物镜:数值孔径(N.A) 0.14, 工作距离:20.5mm |
|
LWDPLAN 10X |
长工作距离平场物镜数:值孔径(N.A) 0.25, 工作距离:16mm |
|
LWDPLAN 20X |
长工作距离平场物镜数:值孔径(N.A) 0.40, 工作距离:7.8mm |
|
LWDPLAN 50X |
长工作距离平场物镜数:值孔径(N.A) 0.55, 工作距离:7.9mm |
|
LWDPLAN 100X |
长工作距离平场物镜:数值孔径(N.A) 0.80, 工作距离:3mm |
|
可选物镜 |
MPLN 5X |
日本OLYMPUS平场消色差物镜: 数值孔径(N.A) 0.10, 工作距离:20mm |
|
MPLN 10X |
日本OLYMPUS平场消色差物镜: 数值孔径(N.A) 0.25, 工作距离:10.6mm |
|
MPLN 20X |
日本OLYMPUS平场消色差物镜: 数值孔径(N.A) 0.4, 工作距离:1.3mm |
|
MPLN 50X |
日本OLYMPUS平场消色差物镜: 数值孔径(N.A) 0.75, 工作距离:0.38mm |
|
MPLN 100X |
日本OLYMPUS平场消色差物镜: 数值孔径(N.A) 0.9, 工作距离:0.21mm |
|
目镜 |
WF10X/22 |
目镜: 10X,视场直径(F.N) 22mm,瞳距和屈光度可调, |
|
WHB 10X/20 |
日本OLYMPUS平场目镜:10X,视场直径(F.N) 20mm |
|
微分干涉系统 |
Polarizer |
起偏器 |
|
Analyzer |
可360旋转检偏器 |
|
U-DICR |
日本OLYMPUS原装微分干涉模块 |
|
光阑 |
带视场光阑(FS)和孔径光阑(AS);可调中心 |
|
观察方法 |
各个倍数下均可以进行明场，简易偏光观察,微分干涉观察,各倍率成象清晰度好. 可作透射与反射照明观察 | |
|
|
|
